油擴散泵(bèng)抽氣系統的*缺點(diǎn)是油蒸汽的污染(rǎn)。
系統中污染物的(de)主要來源如下：
(1)擴(kuò)散泵油蒸汽的返(fǎn)流。這是最重大的(de)污染源。
(2)系統中的(de)零部件，在裝配時(shí)用有油的手拿。用(yong)有油污的手套拿(na)，這樣粘染的有機(ji)分子可以造成系(xi)統内的污染。
(3)前級(ji)油封機械泵油的(de)返流。這個問題也(yě)很嚴重，當入口壓(ya)力較高時，在達到(dao)過渡區(1～10-1Pa)壓力時，機(jī)械泵的油蒸汽即(jí)可直接進入擴散(san)泵内，對系統直接(jie)進行污染。很多真(zhen)空工藝過程的污(wū)染來自機械泵返(fǎn)油。當停機械泵時(shí)如不及時向泵内(nèi)放大氣，機械泵油(you)可直接返到擴散(sàn)泵油鍋内。當擴散(san)泵起動時對系統(tong)的污染更為嚴重(zhòng)。
(4)抽氣系統中密封(feng)材料的放氣造成(cheng)的污染。特别是人(ren)造橡膠密封圈，密(mi)封油脂，潤滑油等(děng)，也同樣造成嚴重(zhòng)的污染。
(5)當停泵後(hou)放大氣時，使真空(kong)零部件在空氣中(zhōng)粘污上水蒸汽，油(yóu)煙等，造成對真空(kōng)系統的污染。
消除(chu)系統油蒸氣返流(liu)的具體措施為：
(1)加(jiā)大擴散泵的啟動(dòng)功率來縮短機械(xiè)泵與擴散泵切換(huàn)時的壓力過渡區(qu)。
(2)通過改變系統操(cāo)作工藝和用閥門(mén)來避開返流危險(xiǎn)區（切換過渡區）。例(lì)如，可使一個按照(zhao)預定速度開啟的(de)高真空閥，逐漸地(di)開啟它，保證進入(ru)擴散泵的氣體流(liu)量低于它的*排氣(qi)量，并且又使機械(xiè)泵抽速保證擴散(sàn)泵前級壓力，以使(shi)擴散泵能樹立工(gōng)作。這樣就能避開(kai)過渡區的出現。
(3)改(gǎi)善操作工藝，将擴(kuo)散泵的加熱功率(lǜ)調至*功率，避免出(chu)現泵油爆沸現象(xiàng)；一般擴散泵在加(jia)熱開始和關閉過(guò)程中，返流将出現(xiàn)峰值，所以可用泵(beng)口處的高真空閥(fa)門來控制避免返(fan)流。
(4)在擴散泵入口(kou)處加裝液氫冷阱(jǐng)或吸附阱來捕集(jí)返流油蒸氣。
(5)選用(yòng)*的擴散泵工作液(ye)。